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溫濕度控制

簡要描述:溫濕度控制在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問  量:618
詳情介紹

溫濕度控制


【設(shè)備特點(diǎn)】

1、精確溫濕度調(diào)控:確保曝光機(jī)、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率

2、定制化風(fēng)量設(shè)計(jì):根據(jù)客戶的具體需求,定制風(fēng)量,送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置,確??諝饬魍ǖ木鶆蛐裕M(jìn)一步提升制程質(zhì)量。

3、超準(zhǔn)溫度控制:溫度控制精度高達(dá)±0.01℃,遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),為產(chǎn)線環(huán)境提供了的穩(wěn)定性,從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。


【產(chǎn)品應(yīng)用】

1、溫度控制精度:±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度:±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領(lǐng)域:該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠、晶圓廠、封裝測(cè)試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域,助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。


一、恒溫恒濕機(jī)在面板廠的應(yīng)用

在面板制造過程中,對(duì)溫濕度的控制至關(guān)重要。精密恒溫恒濕機(jī)能夠?yàn)槊姘迳a(chǎn)提供穩(wěn)定、精確的環(huán)境。以下是精密恒溫恒濕機(jī)在面板廠的主要應(yīng)用:

1、提高面板產(chǎn)品質(zhì)量:通過精密恒溫恒濕控制,降低面板產(chǎn)品的缺陷率,提高產(chǎn)品合格率。

2、優(yōu)化生產(chǎn)流程:穩(wěn)定的環(huán)境有利于提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。

3、保護(hù)設(shè)備:精密恒溫恒濕機(jī)能夠保護(hù)生產(chǎn)設(shè)備,延長設(shè)備使用壽命。

二、恒溫恒濕機(jī)在晶圓廠的應(yīng)用

晶圓制造對(duì)溫濕度的要求高,精密恒溫恒濕機(jī)在晶圓廠的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

1、提高晶圓產(chǎn)品質(zhì)量:穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低晶圓缺陷,提高產(chǎn)品質(zhì)量。

2、保障生產(chǎn)安全:精密恒溫恒濕機(jī)能夠防止靜電、氧化等不良現(xiàn)象,確保生產(chǎn)安全。

3、降低能耗:通過優(yōu)化溫濕度控制,降低能耗,提高生產(chǎn)效益。

三、恒溫恒濕機(jī)在封裝測(cè)試廠的應(yīng)用

1、封裝測(cè)試廠對(duì)溫濕度的要求同樣嚴(yán)格,精密恒溫恒濕機(jī)在封裝測(cè)試廠的應(yīng)用包括:

2、提高封裝產(chǎn)品質(zhì)量:穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低封裝產(chǎn)品的缺陷率,提高產(chǎn)品合格率。

3、保護(hù)測(cè)試設(shè)備:精密恒溫恒濕機(jī)能夠保護(hù)測(cè)試設(shè)備,延長設(shè)備使用壽命。

4、降低生產(chǎn)成本:優(yōu)化溫濕度控制,降低能耗,提高生產(chǎn)效益。






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